在TFT-LCD制造工藝CVD沉積工序中使用到的工藝特氣：硅烷（S1H4），氨氣（NH3），磷化氫（PH3），笑氣（N2O），三氟化碳（NF3）等，另外參與工藝過(guò)程的還有高純氫、高純氮、高純氬、高純氧等大宗氣體。濺射工序中要用到氬氣，濺射成膜氣體是濺射的主要材料。蝕刻工序中也會(huì)用到大量的特氣，而電子特氣多是易燃易爆、劇毒的氣體，因此對(duì)氣路的材質(zhì)、材料選型、施工工藝都很高。

本司從事高純特氣輸送系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、施工、調(diào)試、維護(hù)。

公司致力于各類：實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)室高純氣體供氣系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)室特氣供氣系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)室家具系、實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)室凈化工程系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)室耗材、等務(wù)銷售、安裝、調(diào)試、維護(hù)、于一體的服務(wù)企業(yè)。 我們的業(yè)務(wù)服務(wù)于全國(guó)各地各地區(qū)實(shí)驗(yàn)領(lǐng)域，服務(wù)范圍覆蓋全國(guó)，歡迎咨詢、洽談、合作！！！