高純氣體管道中所有高潔凈的氣體均需通過管路輸送到儀器用點(POU)，為了達到儀器對氣體的質量要求，在氣體出口指標一定的情況下，則更需重視配管系統的材料選用和施工質量。

對輸送高純氣體管道而言，其影響氣體質量的管道材料主要特性是氣體反應、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蝕性。

氣體作用性
不同材料對氧的反應性材料大氣中氧氣的反應(ppm)不銹鋼管 O銅管 O聚丙烯管 1l聚四乙烯管 12普通鋼管 203 從表看到，對于輸送ppm級及更高純要求的氣體，從氣體潔凈度須選用316LBA不銹鋼管或者316LEP不銹鋼鋼管，如果我們不恰當地選用了不符合要求的管道材料，那么，無論我們采取什么凈化手段，都將是無濟于事的。


出氣速率
材料冶煉過程形成的管道材料晶間或者晶格內部存在著某些雜質，如氮、碳氫化合物等，在高純氣體輸送過程中，這些雜質會緩慢地釋放出來，污染高純氣體，尤其是雜質要求在ppb以上級的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率較低。


吸附性
由于水分等雜質易吸附。橡膠、塑料或一些表面粗糙的材料易吸附水分等雜質，使用這些材料輸送高純氣體易被污染，除了輸送ppm級以下的氧氣會使用紫銅管外，高純氣體都不采用銅管和塑料管，氣體會接觸到的墊片、填料也不得采用橡膠、塑料材料(包括聚四乙烯)。

表面粗糙度和耐磨性
為了確保輸送的氣體純凈度，要求管道材料內表面有一個高的光潔度，這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留，可以在吹掃時比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨，可以在氣流高速沖刷下，產生的金屬粒子就少，不銹鋼比銅管產生粒子要少，所以不銹鋼管耐磨性優于鋼管。


抗腐蝕性
微電子生產中，經常使用一些腐蝕性很強的氣體，這時須采用耐腐蝕的管材，否則管道會被腐蝕，輕則表面產生銹斑，重則管道大面積剝落、穿孔，不但污染氣體，還會發生危險事故。


以上就是陽泰祥為大家介紹的有關高純氣體管道安裝對配管和材質有什么要求的分析，希望可以給大家提供參考。

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