高純電子特氣管道系統(tǒng)的含義

半導(dǎo)體,集成電路,生物制約行業(yè)輸送超純介質(zhì)(氣體)的高純氣體管路是一種綜合考慮組織穩(wěn)定性,耐蝕性,加工性的不銹鋼管。要確保系統(tǒng)中立,我們要強(qiáng)調(diào)表面粗糙度Ra 值和自身的潔凈,使顆粒發(fā)生和堆積滯留得到抑止。為了確?？扇劢有约叭劢淤|(zhì)量,要求保證尺寸公差,母材的化學(xué)成分。這樣才能確保在熔接時(shí)降低煙氣的發(fā)生,顆粒的產(chǎn)生及提高熔接部位的耐蝕性和平滑性。

總而言之, 高純管路既要有漂亮的外表 (外在的純凈), 又要有貨真價(jià)實(shí)的材質(zhì) (內(nèi)在的純凈)。 

    1、外在的純凈,有別于傳統(tǒng)不銹鋼管道內(nèi)外表面灰蒙蒙,凹凸不平的感覺,現(xiàn)在的超純氣體管道不僅有锃亮的外表,同時(shí)也有較好的內(nèi)表面粗糙度, 以確保管道系統(tǒng)對傳輸?shù)慕橘|(zhì)保持中立以及確保吹掃及清洗性能, 現(xiàn)在工程師及技術(shù)人員常常提及的表面粗糙度Ra 值就是對管道系統(tǒng)內(nèi)表面粗糙度的基本要求。為了確保自動軌道焊的質(zhì)量和效率,尺寸公差當(dāng)然也是基本的要求。

2、內(nèi)在的純凈指純凈的材質(zhì):氣體管道僅有漂亮的內(nèi)外表面是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的,對管道系統(tǒng)的材質(zhì)也有非?？量虈?yán)格的要求,無論對化學(xué)成分和機(jī)械性能都有一定的定義。所以我們提到的純凈管道是由純凈的316L制成,指不銹鋼中的不純物盡量降到一定范圍內(nèi),非金屬夾雜物以及氣體成分控制在低端，而高純潔凈管的級別可分為BA和EP級，高純電子特氣管道系統(tǒng)用的一般是316LEP級的不銹鋼管，就是電解拋光不銹鋼管。

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